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发明名称
摘要	<p>Continuous wet chemical processing (cleaning, etching, stripping, coating or drying) of flat, thin, fragile substrates comprises transporting and processing the substrates using absorbent rollers.</p>
申请公布号	JP4939545(B2)	申请公布日期	2012.05.30
申请号	JP20080541629	申请日期	2006.11.22
申请人		发明人
分类号	H01L21/306;B08B3/02;B08B3/04;B65G49/07;H01L21/677	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
主权项
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