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发明名称
ZUSAMMENSETZUNG ZUM POLIEREN VON OBERFLÄCHEN AUS SILIZIUMDIOXID
摘要
申请公布号
AT555175(T)
申请公布日期
2012.05.15
申请号
AT20070858192T
申请日期
2007.12.28
申请人
BASF SE
发明人
BEHRENS, SVEN;LIU, YAQIAN;KERN, GUENTER;DEBUS, HEIDRUN
分类号
C09G1/02;C09K3/14;H01L21/306
主分类号
C09G1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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