用于辅助座上激光芯片的自动特征分析系统

摘要

本发明公开了一种用于检测被安装在辅助座上的激光硬模的温度受控的系统。该检测系统包括具有受电机驱动的平移平台的基座。平移平台包括具有被安装在基部上的两级温度控制系统的第一检测位置。温度控制系统包括热电冷却器和用于在循环块中循环冷却/加热流体的流体系统。安装部也被包括在第一检测位置上，其中辅助座被定位在该安装部上。安装部的温度被该温度控制系统控制。当第一检测位置与探针板对准时，具有臂和连接到该臂的电接触部的探针板向辅助座提供电源。具有可与第一检测位置对准的透镜组件的对准器接收由激光器产生的光信号。

主权项

一种用于检测被安装在辅助座上的激光硬模的温度受控的系统，该系统包括：基座，具有受电机驱动的平移平台，该平移平台包括：至少第一检测位置，该第一检测位置包括：基部；两级温度控制系统，安装在该基部上且具有：热电冷却器；和流体系统，用于循环冷却/加热流体；安装部，所述辅助座被定位在该安装部上用于检测，该安装部的温度由该温度控制系统可选择地控制；探针板，具有可移动臂和连接到该臂的电接触部，用于当该第一检测位置与该探针板对准时向该辅助座提供电源；和对准器，具有可与该第一检测位置对准从而接收该激光硬模产生的光信号的透镜组件。