烧结体、溅射靶和成型模及使用该成型模的烧结体的制造方法

摘要

本发明提供溅射时的放电特性和所得到的薄膜的特性良好的大型溅射靶。另外，使用冷静水压压力机，不进行预成型即可直接得到形状精度优异的大型成型体，提供能够廉价、且高效率地制造能够得到上述良好的溅射靶的烧结体的烧结体的制造方法。使用作为杂质而含有的碳的含量不足0.005重量％的烧结体制造溅射靶。另外，这样的烧结体，通过不添加含有有机物的粘合剂、成型助剂而将原料粉末直接用冷静水压压力机成型并进行烧成而获得。此外，通过使用具有在加压压缩时对于填充的原料粉末实质上只从单轴方向加压，在加压结束后的减压时对于成型体可各向同性地释放压力的结构的成型模，能够制造上述烧结体。另外，能够以高的合格率容易地制造将烧蚀区的厚度增厚的大型靶，能够使靶的使用效率提高。

主权项

一种金属氧化物烧结体，是作为构成元素不含碳的烧结体，其特征在于，烧结体中作为杂质而含有的碳的含量不足0.005重量％，构成烧结体的表面的至少1个平面的面积为600cm2以上。