Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen

摘要

Für die Bestrahlung von Oberflächen wird eine Vorrichtung (1) mit einem Strahler vorgeschlagen, wobei der Strahler mindestens eine tunnelartige Durchgangsöffnung (3) aufweist sowie ein Mittel (8, 11), das dazu ausgelegt ist, ein Prozessgas durch die mindestens eine tunnelartige Durchgangsöffnung (3) strömen zu lassen. Dadurch kann auf eine separate Gaszufuhrvorrichtung verzichtet werden. Optional kann die Vorrichtung auch einen Strahlersockel (8) mit mindestens einer Gasöffnung (12) für die Zu- und/oder Abfuhr von Prozessgas aufweisen.