超精密电液伺服控制的进给机构

摘要

一种超精密电液伺服控制的动静压轴承与进给机构，有通过小孔节流器向主轴机构供油的第一供油系统，通过电液伺服阀向前定心静压轴承供油的第二供油系统；主轴结构由套在主轴前端的定心动静压轴承套、套在主轴后端的动静压轴承套和设置在主轴前端的静压止推轴承套及法兰构成；定心动静压轴承套和动静压轴承套的内周面上都设置有承压槽和回油槽，动静压轴承套的承压槽由第一供油系统供油，定心动静压轴承套的垂直方向的承压槽由第一供油系统通过节流器供油，水平方向的承压槽通过电液伺服阀由第二供油系统供油；定心动静压轴承套和动静压轴承套的回油槽均与油箱相通；静压止推轴承套经由小孔节流器由第一供油系统供油。本发明旋转精度高，刚性更高，抗振性好。

主权项

一种超精密电液伺服控制的进给机构，包括有分别通过8个小孔节流器(2)向主轴机构(3)供油的第一供油系统(1)，其特征在于，还设置有通过电液伺服阀(15)向主轴机构(3)中的前定心动静压轴承(B)供油的第二供油系统(16)；所述主轴机构(3)是由主轴(4)、套在主轴(4)前端的前定心动静压轴承套(8)、套在主轴(4)后端的动静压轴承套(11)和设置在主轴(4)前端的静压止推轴承套(6)及法兰(5)构成；所述前定心动静压轴承套(8)和动静压轴承套(11)的内周面上都设置有均布的四个承压槽(12)和四个回油槽(13)，动静压轴承套(11)的四个承压槽(12)由所述第一供油系统(1)通过四个所述小孔节流器(2)供油，所述前定心动静压轴承套(8)的垂直方向的两个承压槽(12)由所述第一供油系统(1)通过所述小孔节流器(2)供油，而水平方向的两个承压槽(12)通过所述电液伺服阀(15)由第二供油系统(16)供油；前定心动静压轴承套(8)和动静压轴承套(11)的四个回油槽(13)均与油箱(14)相通；静压止推轴承套(6)经由所述小孔节流器(2)由第一供油系统(1)供油，位于主轴(4)前端的前定心动静压轴承套(8)上的两个通过所述电液伺服阀(15)供油的承压槽(12)中的一个设置有一电容位移传感器(17)，所述的电容位移传感器(17)依次通过第一放大器(18)、比较器(19)和第二放大器(10)与所述电液伺服阀(15)连接，所述的比较器(19)还接收已设定的用于与电容位移传感器(17)所传信号进行比较的指令信号。