| 发明名称 | 聚焦环组合、IMP溅射设备 | ||
| 摘要 | 一种聚焦环组合，包括：聚焦环，所述聚焦环上设有通孔；安装钉，所述安装钉包括柱体及膨大的背部，所述背部贴附在所述聚焦环的内表面，所述柱体通过所述通孔延伸出所述聚焦环的外表面，所述柱体的内部设有螺纹孔；其中，所述安装钉的背部厚度大于1.53mm。本发明还提供了与上述聚焦环组合相对应的IMP溅射设备。本发明的聚焦环组合、聚焦环和IMP溅射设备将或适于将安装钉的背部加厚，即增加了背部在溅射中被消耗掉的时间，这样也就增加了聚焦环的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN102437003A | 申请公布日期 | 2012.05.02 |
| 申请号 | CN201110403783.4 | 申请日期 | 2011.12.07 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;汪涛 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H01J37/34(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种聚焦环组合，其特征在于，包括：聚焦环，所述聚焦环上设有通孔；安装钉，所述安装钉包括柱体及膨大的背部，所述背部贴附在所述聚焦环的内表面，所述柱体通过所述通孔延伸出所述聚焦环的外表面，所述柱体的内部设有螺纹孔；其中，所述安装钉的背部厚度大于1.53mm。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 | ||