发明名称 以回归模型寻找强健型制程参数方法
摘要 本发明系一种以回归模型寻找强健型制程参数方法,其系先进行全因子实验程序,若实验产品之品质项目数值合乎标准,代表该设定点为最佳强健参数设定点;若否,则以实验机台之最小调幅建立单位实验参数组合,再套入一回归模型中预测品质项目之数值,若预测出之数值皆合于品质标准,或预测出之数值未能全部合于品质标准但存在最大符合品质标准的实验参数组合组数,代表该设定点为最佳强健参数设定点之推估值,重新执行全因子实验以确认是否为稳健的参数设定点;若否,则以机台参数之最小调幅为步进距离,将该设定点往峰值方向移动重新寻找一个设定点推估值,藉此达到方向性以及距离性之寻找,可快速且有效地寻找到最佳强健参数设定点。
申请公布号 TWI363305 申请公布日期 2012.05.01
申请号 TW096102005 申请日期 2007.01.19
申请人 黄明贤 高雄市楠梓区卓越路2号 发明人 黄明贤;林宗彦
分类号 G06Q10/00;G06F17/18 主分类号 G06Q10/00
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址 高雄市楠梓区卓越路2号