针尖位置检测装置和探针装置

摘要

本发明提供针尖位置检测装置和探针装置，能简化多个探针高度检测工序并以短时间且高精度检测，而且能提高检查信赖性。该针尖位置检测装置在每次使被检查体与多个探针电接触进行被检查体的电特性检查时，用于检测多个探针的针尖的位置，针尖位置检测装置具有检测多个探针的针尖的传感器部，传感器部具有传感器部主体、能够升降地设置在传感器部主体上的接触体、以及对接触体施加规定压力，使接触体与传感器主体离开规定距离的压力施加单元，而且，传感器部主体具有在由压力施加单元施加的规定压力下弹性地支撑所述接触体的弹力支撑机构，接触体通过在规定压力下与多个探针接触向传感器部主体一侧下降来检测多个探针的针尖位置。

主权项

一种针尖位置检测装置，其特征在于：该针尖位置检测装置在每次使被检查体与多个探针电接触进行所述被检查体的电特性检查时，用于检测所述多个探针的针尖的位置，所述针尖位置检测装置具有检测所述多个探针的针尖的传感器部，并且，所述传感器部具有传感器部主体、能够升降地设置在所述传感器部主体上的接触体、以及对所述接触体施加规定压力，使所述接触体与所述传感器主体离开规定距离的压力施加单元，而且，所述传感器部主体具有在由所述压力施加单元施加的所述规定压力下弹性地支撑所述接触体的弹力支撑机构，所述接触体通过在所述规定压力下与所述多个探针接触向所述传感器部主体一侧下降来检测所述多个探针的针尖位置。