发明名称 Verfahren zum Aufdampfen von duennen Schichten hoechster Reinheit und Anordnung zur Durchfuehrung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE1621306(A1) 申请公布日期 1971.04.29
申请号 DE19671621306 申请日期 1967.01.17
申请人 PHILIPS' PATENTVERWALTUNG GMBH 发明人 GROH,GUNTHER,DIPL.-PHYS.DR.
分类号 B23K26/12;C23C14/28 主分类号 B23K26/12
代理机构 代理人
主权项
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