发明名称 一种单晶硅太阳能电池的制绒液及其制备方法和应用
摘要 本发明涉及一种单晶硅太阳能电池的制绒液及其制备方法和应用,原料包括以下组分及重量百分比含量:四甲基氢氧化铵1~3、异丙醇7~9、去离子水88~92,将去离子水加入到制绒槽中,再加入四甲基氢氧化铵和异丙醇,控制温度为75~85℃,充分搅拌均匀即得到产品,利用该产品处理硅片。与现有技术相比,本发明具有良好的各向异性腐蚀特性,腐蚀速率高,腐蚀表面均匀性好,同时,腐蚀液还具有不含碱金属离子,无毒,易操控的优点,并且能与微电子技术兼容。
申请公布号 CN102400225A 申请公布日期 2012.04.04
申请号 CN201010283966.2 申请日期 2010.09.16
申请人 上海神舟新能源发展有限公司 发明人 裴骏;刘绍军;林育琼;王坤霞
分类号 C30B33/10(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C30B33/10(2006.01)I
代理机构 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人 林君如
主权项 一种单晶硅太阳能电池的制绒液,其特征在于,该制绒液的原料包括以下组分及重量百分比含量:四甲基氢氧化铵    1~3;异丙醇            7~9;去离子水          88~92。
地址 201112 上海市闵行区浦江镇召楼路3636号