预对准机的标定方法

摘要

一种预对准机的标定方法，一机械手将一晶圆放置在一预对准机上；所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤：机械手将晶圆放置在预对准机上，晶圆的圆心处于预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点；预对准机识别第一位置点在第一坐标系中的坐标；机械手驱使晶圆沿机械手所在的一第二坐标系的横轴方向移动一距离，晶圆的圆心到达一第二位置点；预对准机识别出第二位置点在第一坐标系中的坐标；计算第一位置点与第二位置点的连线与第一坐标系的横轴之间的夹角，即为第一坐标系与第二坐标系的相对方向；所述机械手调整晶圆位置，对晶圆进行预对准。

主权项

一种预对准机的标定方法，其特征在于，所述标定方法包括：一机械手将一晶圆放置在一预对准机上；所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定，包括步骤：所述晶圆的圆心处于所述预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点，所述预对准机使所述晶圆旋转一周，所述预对准机识别出所述第一位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(x1，y1)，所述机械手驱使所述晶圆沿所述机械手所在的一第二坐标系的横轴方向移动一定长度的距离，记为ΔX，所述晶圆的圆心从所述第一位置点到达一第二位置点，所述预对准机识别出所述第二位置点在所述第一坐标系中的坐标，记为(x2，y2)，计算第一位置点与第二位置点的连线与所述第一坐标系的横轴之间的夹角，所述夹角即为所述第一坐标系与所述第二坐标系的相对方向，记为∠θ，所述∠θ即为所述机械手与预对准机坐标系的相对方向；所述机械手调整晶圆位置，对晶圆进行预对准。