| 发明名称 | 具有粗糙度测量传感器的装置和相应方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种包括粗糙度测量系统和粗糙度测量传感器的装置(10)，其中使用滑动件(15.3)和探测尖端(1.4)。所述滑动件(15.3)以传感滑动件(15.3)的形式设置在探针(15.2)的最外端。所述探测尖端(15.4)与所述探针(15.2)成一体，其中所述传感滑动件(15.3)和所述探测尖端(15.4)之间的距离(A)是预定的。粗糙度传感系统为具有平行四边形结构的一维、二维或三维传感系统。所述装置还包括一种伺服装置，其使到所述探针(15.2)连同所述传感滑动件(15.3)可在待扫描的表面(F)作为一体地移动。本发明还涉及一种相应的使用所述装置(10)的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102405393A | 申请公布日期 | 2012.04.04 |
| 申请号 | CN200980156239.5 | 申请日期 | 2009.12.03 |
| 申请人 | 科林基恩伯格股份公司 | 发明人 | G·米斯 |
| 分类号 | G01B5/28(2006.01)I;G01B7/34(2006.01)I | 主分类号 | G01B5/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 毛力 |
| 主权项 | 一种包括粗糙度传感系统(12)和粗糙度测量传感器(15)的装置(10)，其中滑动件和探测尖端(15.4)共同工作，其特征在于：‑所述滑动件以扫描滑动件(15.3)的形式设置在探针(15.2)的最外端，‑所述探测尖端(15.4)与所述探针(152)成一体，其中所述扫描滑动件(15.3)和所述探测尖端(15.4)之间的距离(A)是预定的，‑所述粗糙度传感系统(12)为具有平行四边形结构(31，38；40)的一维、二维或三维扫描系统，‑所述装置(10)包括伺服装置，所述伺服装置使所述探针(15.2)可与所述扫描滑动件(15.3)和所述探测尖端(15.4)在待扫描的表面(F)上共同地移动。 | ||
| 地址 | 瑞士苏黎士 | ||