晶圆清洗装置以及化学机械研磨设备

摘要

本实用新型提供一种晶圆清洗装置以及化学机械研磨设备，所述晶圆清洗装置包括主管道、第一支管道、第二支管道、第一清洗液输送管和第二清洗液输送管；所述第一支管道的一端与主管道转动连接，且与主管道相通，所述第一支管道的另一端设有软刷式喷头；所述第二支管道的一端与主管道转动连接，且与主管道相通；所述第一清洗液输送管设置在第一支管道及主管道内，所述第一清洗液输送管的一端与软刷式喷头连接；所述第二清洗液输送管设置在第二支管道及主管道内，在所述第二支管道内的一段第二清洗液输送管上设有多个喷嘴，所述多个喷嘴穿过第二支管道伸出第二支管道外。所述晶圆清洗装置可对晶圆进行充分清洗，且不损伤晶圆。

主权项

一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括主管道、第一支管道、第二支管道、第一清洗液输送管和第二清洗液输送管；其中，所述第一支管道的一端与所述主管道转动连接，且与所述主管道相通，所述第一支管道的另一端设有软刷式喷头；所述第二支管道的一端与所述主管道转动连接，且与所述主管道相通；所述第一清洗液输送管设置在所述第一支管道及主管道内，所述第一清洗液输送管的一端与所述软刷式喷头连接；所述第二清洗液输送管设置在所述第二支管道及主管道内，在所述第二支管道内的一段第二清洗液输送管上设有多个喷嘴，所述多个喷嘴穿过所述第二支管道伸出所述第二支管道外。