荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法

摘要

本发明提供作业效率高且安全地进行试样测定的荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法。荧光X射线分析装置(100)包括：放射线源(2)，对试样(S)上的照射点(P1)照射放射线；X射线检测器(3)；移动机构(8)，能将试样相对于放射线源和X射线检测器移动；壳体(10)；门(20)，开关试样进出壳体内外的开口(10a)；高度测定机构(7)，能测定照射点的高度；移动机构控制部(9)，基于测定的照射点高度调整试样到放射线源及X射线检测器的距离；激光部(7)，对照射点照射可见光激光；激光部工作控制部(9)，门为开状态时，使激光部工作以照射可见光激光，且门为关状态时，停止激光部；以及高度测定机构工作控制部(9)，门为开状态时，使高度测定机构工作以测定照射点高度。

主权项

一种荧光X射线分析装置，其特征在于，包括：放射线源，对试样上的照射点照射放射线；X射线检测器，检测所述试样放出的特征X射线和散射X射线，且输出含有该特征X射线和散射X射线的能量信息的信号；分析器，分析所述信号；试样台，放置所述试样；移动机构，能够将所述试样台上的所述试样相对于所述放射线源和所述X射线检测器移动；壳体，至少收容所述放射线源、所述试样台以及所述移动机构；门，开关用于所述试样进出所述壳体内外的开口；高度测定机构，能够测定所述试样上的所述照射点的高度；移动机构控制部，基于测定的所述照射点的高度使所述移动机构工作，调整所述试样到所述放射线源及所述X射线检测器的距离；激光部，以可见光激光照射所述照射点；门开关探测部，探测所述门的开关状态；激光部工作控制部，当利用所述门开关探测部探测到所述门为开状态时，使所述激光部工作以照射所述可见光激光，且当利用所述门开关探测部探测到所述门为关状态时，停止所述激光部；以及高度测定机构工作控制部，当利用所述门开关探测部探测到所述门为开状态时，使所述高度测定机构工作以测定所述照射点的高度。