发明名称 METHOD FOR MEASURING ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20120027124(A) 申请公布日期 2012.03.21
申请号 KR20117022230 申请日期 2010.04.13
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD. 发明人 FUKUHARA NOBORU;HATA MASAHIKO
分类号 H01L21/66;G01N27/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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