一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置

摘要

本实用新型提供了一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，包括扩散炉管，在扩散炉管的一端设有炉门，在扩散炉管内设有石英舟，其特征在于：在石英舟的正上方及正下方或在石英舟的正下方及正上方分别设有进气喷淋管及抽气管，进气喷淋管及抽气管的一端分别用堵头堵住，另一端通出扩散炉管外，在进气喷淋管上开有至少一排进气孔，在抽气管上开有至少一排抽气孔。本实用新型的扩散工艺气体从石英进气喷淋管进入扩散炉管，通过硅片后经抽气管排出扩散炉管，在此过程中减少了扩散工艺气体的横向流动，避免了工艺气体在横向流动时硅片阻挡导致的气流不均匀。在硅片内形成均匀的PN结，得到比较一至的方块电阻。

主权项

一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，包括扩散炉管，在扩散炉管的一端设有炉门，在扩散炉管内设有石英舟（6），其特征在于：在石英舟（6）的正上方及正下方或在石英舟（6）的正下方及正上方分别设有进气喷淋管（1）及抽气管（7），进气喷淋管（1）及抽气管（7）的一端分别用堵头（4）堵住，另一端通出扩散炉管外，在进气喷淋管（1）上开有至少一排进气孔（9），在抽气管（7）上开有至少一排抽气孔（8）。