| 摘要 |
<p>레지스트 노즐(130)에 부착되는 어긋남 센서(140A, 140B)는, 예를 들면 가속도센서 또는 진동센서로 이루어지며, 각각 연직방향(Z방향) 및 주사방향(X방향)에 있어서의 레지스트 노즐(130)의 어긋남을 가속도 또는 진동으로서 검출한다. 신호처리부에서는, 각 어긋남 센서(140A, 140B,…)로부터의 센서신호(시간신호)에 대하여 고속 푸리에변환(FFT)의 연산처리를 하여 주파수 스펙트럼을 구하고, 구한 주파수 스펙트럼을 적당한 판정기준 또는 알고리즘에 걸어서 도포처리의 불량여부를 판정한다.</p> |
