| 发明名称 |
SILICA GROUP FILM AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11251310(A) |
申请公布日期 |
1999.09.17 |
| 申请号 |
JP19990006369 |
申请日期 |
1999.01.13 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
SAKAMOTO YOSHIKANE;HAGIWARA YOSHIO;NAKAYAMA TOSHIMASA |
| 分类号 |
H01L21/316;C09D183/04;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
