| 发明名称 | 微机电传感器 | ||
| 摘要 | 一种微机电传感器，所述微机电传感器包括：第一电极板，振膜，所述第一电极板和所述振膜相对设置，两者之间为空腔，所述振膜的一侧暴露于外界空气；还包括：第二电极板，设置于所述第一电极板和所述振膜之间，所述振膜与所述第二电极板固定电连接。由于第一电极板和第二电极板之间的距离相对较近，对电容的变化也就相对敏感，因此可以提高信噪比，也就是说，对于微机电麦克风可以提高声音信号的信噪比，对应微机电压力传感器可以提高压力信号的信噪比。 | ||
| 申请公布号 | CN202150936U | 申请公布日期 | 2012.02.22 |
| 申请号 | CN201120160329.6 | 申请日期 | 2011.05.18 |
| 申请人 | 上海丽恒光微电子科技有限公司 | 发明人 | 毛剑宏;唐德明 |
| 分类号 | H04R19/04(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种微机电传感器，包括：第一电极板，振膜，所述第一电极板和所述振膜相对设置，两者之间为空腔，所述振膜的一侧暴露于外界空气；其特征在于，还包括：第二电极板，设置于所述第一电极板和所述振膜之间，所述振膜与所述第二电极板固定电连接。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室 | ||