具有焊接板及电阻加热器的基材支撑件

摘要

本发明之基材支撑件包括一顶板、中间板及底板，其藉由硬焊而接合。顶板包括一上表面，其具有分布于凹陷部之多个往外突出的突出部、网状分布之凹陷沟槽、终端连接于凹陷沟槽之真空端口，以及多个气体端口。中间板具有多个中间供应管线，其与顶板相符之顶部供应管线排成一直线。底板具有多个底部供应管线，并与中间板之中间供应管线排成一直线。顶板与中间板藉由第一硬焊结合层而接合，而中间板与底板藉由第二硬焊结合层而接合。