堆叠电容的储存电极的制作方法

摘要

一种储存电极的制作方法。提供一基底；在该基底上形成一第一介电层、一支撑层及一第二介电层；在该第一介电层、该支撑层及该第二介电层中蚀刻出一开孔；在该第二介电层及该开孔内形成一导电层；去除该第二介电层上的该导电层，形成一储存电极层；去除该第二介电层；在该支撑层及该储存电极层表面沈积一侧壁子层；进行离子布植，将掺质植入部分该侧壁子层；去除未植入该掺质的该侧壁子层，构成一硬遮罩层；蚀穿未被该硬遮罩层覆盖的该支撑层，暴露该第一介电层；去除该第一介电层及该硬遮罩层。