| 主权项 |
1.一种感光性正光阻组合物,其基本上包括含15%至99%(以组合物固体部份之重量为基准)之至少一种不溶于水,可溶于硷性水溶液,可形成薄膜的酚醛清漆树脂的混合物;1%至85%(以组合物固体部份之重量为基准)之至少一种邻-重氮光敏剂,和40%至90%(以感光性组合物总重为基准)之光阻溶剂组合物,其基本上包含丙二醇烷基醚醋酸酯和3-甲基-3-甲氧基丁醇的光阻溶剂混合物,其中溶剂基本上包括40%至60%重量之3-甲基-3-甲氧基-丁醇及60%至40%重量之丙二醇烷基醚醋酸酯。2.根据申请专利范围第1项之组合物,其中该丙二醇烷基醚醋酸酯成份为丙二醇甲基醚醋酸酯。3.根据申请专利范围第1项之组合物,其进一步包含一种或多种选自下列的添加物:着色剂、抗成纹剂、塑化剂、黏性促进剂、加速剂、溶剂和界面活性剂。4.根据申请专利范围第1项之组合物,其中该重氮成份包含一种或多种选自重氮磺醯氯与羟基或聚羟基芳香基化合物、芳香基胺或聚胺的反应产物之化合物。5.根据申请专利范围第1项之组合物,其中该光敏剂是2,3,4-三羟基苯酮与-(1,2)-二叠氮化物-5-磺醯氯所形成45%酯化程度的缩合产物。6.一种感光元件,其包含一种基质和配置于该基质上之根据申请专利范围第1项的组合物。7.根据申请专利范围第6项之元件,其中该基质包含一种或多种选自下列的成份:矽、铝、聚合树脂、二氧化矽、含添加剂的二氧化矽、氮矽化物、钽、铜、聚矽、陶磁和铝/铜混合物。8.一种制造正光阻组合物的方法,其包括形成15%至99%(以组合物固体部份之重量为基准)之一种含至少一种不溶于水,可溶于硷性水溶液,可形成薄膜的酚醛清漆树脂混合物;1%至85%(以组合物固体部份之重量为基准)之至少一种邻-重氮光敏剂,和40%至90%(以感光性组合物总重为基准)之光阻溶剂组合物,其基本上包含丙二醇烷基醚醋酸酯和3-甲基-3-甲氧基丁醇的光阻溶剂混合物,其中溶剂基本上包括40%至60%重量之3-甲基-3-甲氧基-丁醇及60%至40%重量之丙二醇烷基醚醋酸酯。9.根据申请专利范围第8项之方法,其中该丙二醇烷基醚醋酸酯为丙二醇甲基醚醋酸酯。10.根据申请专利范围第8项之方法,其进一步包含一种或多种选自下列的添加物:着色剂、抗成纹剂、塑化剂、黏性促进剂、加速剂、溶剂和界面活性剂。11.根据申请专利范围第8项之方法,其中该酚醛清漆树脂的含量占该组合份的重量5%至40%。12.根据申请专利范围第8项之方法,其中该重氮的含量占组合份中固体部份重量5%至35%。13.根据申请专利范围第8项之方法,其中该重氮成份包含一种或多种选自重氮磺醯氯与羟基或聚羟基芳香基化合物、芳香基胺或聚胺的反应产物之化合物。14.根据申请专利范围第8项之方法,其中该光敏剂是2,3,4-三羟基苯酮与-(1,2)-二叠氮化物-5-磺醯氯形成45%酯化程度的缩合产物。 |
