使用多重光波长来对准之装置及方法

摘要

一用来使一有一图案的微影术模板与一基板对准的方法与系统被揭露，以作为转印图案至基板一表面的准备。该系统包含一光学成像系统，其适用于使用一第一波长的光而使一形成于模板的一顶面之第一对准结构成像，及使用一第二波长的光而使一形成于基板的一顶面之第二对准结构成像。