用于检测和分类发弧的基于电流的方法和设备

摘要

提供一种用于使用电源电路和发弧检测装置产生等离子体的设备和技术。电源电路具有包括被围在室中的阴极并且适于产生功率相关参数。发弧检测配置通讯地耦接到电源电路并且适于通过比较功率相关参数与之少一个阈值来估计室中的发弧的严重性。根据各种实施，响应于功率相关参数与之少一个阈值的比较测量发弧出现、发弧持续时间、严重性和/或能量。根据另一实施，上述测量的数量被累计和/或进一步处理。还提供用于当电流尖峰在阈值电平之上时检测发弧的设备和方法。该方法和设备还用于基于电压和电流信号以及每一个信号超出阈值的持续时间来分类发弧事件。

主权项

一种在物理气相沉积处理中检测和分类发弧的方法，该方法包括：监视等离子体产生设备的电源电压和电流；当所述电压下降到预定第一电压阈值之下时，检测多个实例；当所述电压下降到预定第一电压阈值之下时，计时每一实例的持续时间；当电流尖峰在预定第一电流阈值之上时，检测多个实例；当电流尖峰在预定第一电流阈值之上时，计时每一实例的持续时间；对电压下降和电流尖峰同时发生的每一实例，分配该实例第一类别；对没有相应的同时发生的电流尖峰的一或多个电压下降具有低于第一预定时间的累计持续时间的每一实例，分配该实例第二类别；对没有相应的同时发生的电流尖峰的一或多个电压下降具有大于第一预定时间的累计持续时间的每一实例，分配该实例第三类别；对没有相应的同时发生的电压下降的一或多个电流尖峰具有低于第二预定时间的累计持续时间的每一实例，分配该实例第四类别；以及对没有对应的同时发生的电压下降的一或多个电流尖峰具有大于第二预定时间的累计持续时间的每一实例，分配该实例第五类别。