发明名称 |
使用先介电键合后通孔形成的三维集成电路的集成 |
摘要 |
一种实现多个集成电路(IC)器件的三维(3D)集成的方法,包括在第一IC器件之上形成第一绝缘层(120);在第二IC器件之上形成第二绝缘层(220);通过使第一绝缘层与第二绝缘层对准并键合以便将第一键合界面(302)界定于它们之间来形成3D键合的IC器件,将第一组通孔(306)界定于该3D键合的IC器件之内,第一组通孔着落在位于第一IC器件之内的导电焊盘(110)之上,以及将第二组通孔(306)界定于该3D键合的IC器件之内,第二组通孔着落在位于第二器件之内的导电焊盘(210)之上,使得第二组通孔穿过键合界面(302);以及以导电材料(310)填充第一和第二组通孔。 |
申请公布号 |
CN102341907A |
申请公布日期 |
2012.02.01 |
申请号 |
CN201080010340.2 |
申请日期 |
2010.04.08 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
M·G·法鲁;R·汉侬;S·S·伊耶;E·R·金瑟 |
分类号 |
H01L23/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/04(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
申发振 |
主权项 |
一种实现多个集成电路(IC)器件的三维(3D)集成的方法,所述方法包括:在第一IC器件之上形成第一绝缘层(120);在第二IC器件之上形成第二绝缘层(220);通过使所述第一IC器件的所述第一绝缘层(120)与所述第二IC器件的所述第二绝缘层(220)对准并键合以便将第一键合界面(302)界定于它们之间来形成3D键合的IC器件,其中所述第一键合界面不含导电材料;在所述键合之后,将第一组通孔(306)界定于所述3D键合的IC器件之内,所述第一组通孔着落在位于所述第一IC器件之内的导电焊盘(110)之上,以及将第二组通孔(308)界定于所述3D键合的IC器件之内,所述第二组通孔着落在位于所述第二IC器件之内的导电焊盘(210)之上,使得所述第二组通孔穿过所述第一键合界面(302);以及以导电材料(310)填充所述第一和第二组通孔,并将所述第一组通孔中的至少一个通孔电连接(314)至所述第二组通孔中的至少一个通孔,由此建立在所述3D键合的IC器件的所述第一和第二IC之间的电通信。 |
地址 |
美国纽约 |