测量装置和测量方法

摘要

根据本发明的测量装置包括：沿着是中空形状的深度方向的第一方向发送光的光发送部；将光方向转换成大致正交于所述第一方向的圆周方向的转换部；检测在测量物体内侧被反射的光的检测部，所述光的方向被转换部转换；和形状测量部，通过根据检测部的检测结果获得从基准位置的移位而测量所述测量物体的内侧形状。由此，能够一次地获得物体的中空形状，而无需旋转该物体或者光源，并且使用简单的装置执行高度精确的测量。

主权项

一种测量中空测量物体的内侧形状的测量装置，包括：光发送部，沿着是该中空形状的深度方向的第一方向发送光；转换部，将光方向转换成大致正交于所述第一方向的方向；检测部，检测在所述测量物体内侧被反射的光，所述光的方向被所述转换部转换；测量光学系统，所述测量光学系统形成所述测量物体的内侧图像；和形状测量部，通过根据所述检测部的检测结果获得所述测量物体的内侧表面从预定基准位置的移位而测量所述测量物体的内侧形状，其中所述预定基准位置与所述检测部成共轭关系。