| 摘要 |
L'invention concerne un capteur de pression de type MEMS et/ou NEMS comportant : - au moins une première cavité déformable (20) pour recevoir des variations de pression d'une atmosphère ambiante, cette première cavité déformable étant réalisée dans un premier substrat et comportant au moins une paroi mobile ou déformable (25), disposée au moins en partie dans le plan parallèle du premier substrat, dit plan du capteur, et des moyens (21) pour transmettre à cette cavité des variations de pression d'une atmosphère ambiante, - des moyens de détection (24, 24') pour détecter un déplacement ou une déformation, dans le plan du capteur, de ladite paroi mobile ou déformable, sous l'effet d'une variation de pression de l'atmosphère ambiante.
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