Apparatus for generating remote plasma,申请号KR20090071296-传众专利搜索

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发明名称	Apparatus for generating remote plasma
摘要
申请公布号	KR101105907(B1)	申请公布日期	2012.01.17
申请号	KR20090071296	申请日期	2009.08.03
申请人		发明人
分类号	H05H1/46;H05H1/24;H05H1/34	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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