| 摘要 |
Ein magnetischer Winkelsensor umfasst einen Halbleiterchip (6), mindestens zwei auf einer Oberfläche des Halbleiterchips angeordnete Magnetfeldkonzentratoren (7, 8) mit einer flächigen Form, und vier Hallsensoren (9–12). Jeder Hallsensor umfasst ein Hallelement oder einen Cluster von Hallelementen. Die Hallelemente sind im Halbleiterchip integriert und im Bereich des Randes des Magnetfeldkonzentrators angeordnet, wo sie von Feldlinien des Magnetfelds durchflutet werden, die im Bereich des Randes des Magnetfeldkonzentrators annähernd senkrecht zu der genannten Oberfläche des Halbleiterchips verlaufen. Zwei Hallsensoren (9, 11) bilden ein erstes Sensorpaar zur Messung einer ersten Komponente des Magnetfelds und die anderen zwei Hallsensoren (10, 12) bilden ein zweites Sensorpaar zur Messung einer zweiten Komponente des Magnetfelds. Verbindungslinien, die diejenigen Hallsensoren verbinden, die im Bereich des Randes des gleichen Magnetfeldkonzentrators angeordnet sind, verlaufen entweder parallel zueinander oder bilden eine einzige gemeinsame Linie.
|
