| 发明名称 | 合成石英玻璃基板的处理 | ||
| 摘要 | 通过以下方法处理一种具有抗蚀剂膜涂覆于其上的合成石英玻璃基板：将该基板浸入含萜烯的溶剂中直到抗蚀剂膜剥离，并用水冲洗该基板。 | ||
| 申请公布号 | CN102314102A | 申请公布日期 | 2012.01.11 |
| 申请号 | CN201110255499.7 | 申请日期 | 2011.06.17 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 松井晴信;长谷川良平;竹内正树 |
| 分类号 | G03F1/38(2012.01)I;G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/38(2012.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 任宗华 |
| 主权项 | 一种处理涂覆有抗蚀剂膜的合成石英玻璃基板的方法，包括以下步骤：将涂膜基板浸入溶解有萜烯的溶剂中直到该抗蚀剂膜基本上剥离，并用水冲洗该基板。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||