磁控溅射环件用钽凸结体生产方法

摘要

一种磁控溅射环件用钽凸结体生产方法，以钽棒为原料，采用模具冲压成型结合精密机械加工的方式完成，其工艺过程依次为：钽棒锯料、车端面、冲压成型、精修、钻中心孔、攻丝、钻侧孔。其冲压模具包括上模板(1)和下模板(9)，两者之间有导向柱(3)，下模板(9)上装有凹模(7)，凹模之上配有凸模(6)，凸模上配有退料杆(5)；本发明具有材料利用率高和加工效率高的优点。

主权项

磁控溅射环件用钽凸结体生产方法，以钽棒为原料，其特征在于采用模具冲压成型结合精密机械加工的方式完成，其工艺过程依次为：钽棒锯料、车端面、冲压成型 、精修、钻中心孔、攻丝、钻侧孔，其模具冲压成型所用模具有上模板（1）和下模板（9），两者之间有导向柱（3），下模板（9）上装有凹模（7），凹模之上配有凸模（6），凸模上配有退料杆（5）。