| 主权项 |
一种气动伺服执行机构，其特征在于：包括执行元件、气浮导轨、位移传感器、载物台(9)和机构体(8)；执行元件为波纹管；波纹管是气动伺服执行机构的执行元件，对气动伺服执行机构提供执行力；气浮导轨由气浮导轨动子(3)和气浮导轨定子(4)组成，用于消除气动伺服执行机构运动过程中的摩擦力；位移传感器由读数头(7)和光栅尺(6)组成，为气动伺服执行机构的位置采集装置，用于对气动伺服执行机构移动位移进行采集和反馈；其连接关系为：波纹管一端封死，并与气浮导轨动子(3)连接，另一端固定在机构体(8)上，机构体(8)上设有波纹管进气孔(2)；载物台(9)安装在气浮导轨动子(3)上；气浮导轨定子(4)的底端固定在机构体上；当气浮导轨正常工作时，气浮导轨动子(3)无摩擦移动；光栅尺(6)固定在载物台(9)的侧面；读数头(7)固定在机构体的一侧，并与光栅尺(6)相对；其工作过程为：打开气源(11)，气体经过过滤器(10)，一路经第一减压阀(12)给气浮导轨定子进气孔(5)通入气体，同时，另一路经第二减压阀(13)经进气孔(2)给波纹管通入气体，气浮导轨正常工作，波纹管推动气浮导轨动子(3)无摩擦运动，带动安装在气浮导轨动子(3)上的载物台(9)一起运动时，读数头(7)能够读出随载物台(9)一起运动的光栅尺(6)的刻度变化量，该变化量等于载物台(9)的移动距离。 |
