一种用于硬盘盘基片的抛光组合物

摘要

本发明公开了属于计算机存储器硬盘制造技术领域的一种用于硬盘盘基片的抛光组合物。一种用于硬盘盘基片的抛光组合物，包含磨料和水，还包含抛光促进剂和润滑剂，按重量百分含量为，磨料：0.5～20％、抛光促进剂：0.01～10％、润滑剂：0.00001～5％，其余为水。抛光组合物中还含有pH值调节剂。抛光组合物pH值为0.5～5。本发明提供的抛光组合物主要适用于硬盘盘基片制造中的抛光工艺，具有抛光去除速率高的特点，经其抛光后的盘基片表面划痕少、无凹坑及突起等缺陷，且表面光滑，平均表面粗糙度可达到3埃以下。

主权项

一种用于硬盘盘基片的抛光组合物，包含磨料和水，其特征在于，还包含抛光促进剂、润滑剂和pH值调节剂，按重量百分含量为，磨料：0.5～20％、抛光促进剂：0.01～10％、润滑剂：0.00001～5％，pH值调节剂的加入量使抛光组合物的pH值保持0.5～5，其余为水；所述抛光促进剂为带羟基的一元或多元羧酸，所述带羟基的一元或多元羧酸为乳酸、苹果酸、柠檬酸、酒石酸、乙醇酸、α‑羟基异丁酸、甘油酸、葡糖酸、水杨酸或五倍子酸中的一种或几种；所述润滑剂为脂肪酸烷醇酰胺酯或其盐类，所述脂肪酸烷醇酰胺酯或其盐类为月桂酸烷醇酰胺硫酸酯、硬脂酸烷醇酰胺硫酸酯、油酸烷醇酰胺硫酸酯、椰油酸单乙醇酰胺硫酸酯、菜油脂肪酸烷醇酰胺硫酸酯、椰油酸烷醇酰胺磷酸酯、月桂酸醇酰胺磷酸酯、烷醇酰胺琥珀酸单酯磺酸二钠盐或椰油酸单乙醇酰胺醚羧酸钠中的一种或几种。