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发明名称
摘要
申请公布号 JP4843252(B2) 申请公布日期 2011.12.21
申请号 JP20050145394 申请日期 2005.05.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01J37/317;H01L21/22 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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