一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法，涉及一种多晶硅生产用氢化炉电极装置，通过在电极内连接冷却循环水，并采用特种氧化锆陶瓷、柔性石墨和氟橡胶材质的O形密封圈等多种材料分别解决电极和底盘之间的耐高温、绝缘和密封问题，提高了氢化炉装置的可靠性，保障了氢化炉装置的安全运行，提高了氢化炉装置的生产效率。

主权项

一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法，其特征在于：在电极（1）与底盘（14）之间通过设置氧化锆陶瓷密封装置、柔性石墨密封圈和O型密封圈来共同实现耐高温、绝缘和密封，旋紧不锈钢螺母（10），电极（1）与底盘（14）和玻璃纤维衬套（9）拉紧，使柔性石墨密封圈、O型密封圈和聚四氟乙烯垫环（7）压紧变形来形成密封， 同时在电极（1）内通入冷却水。