发明名称 化合物半导体装置及其制造方法
摘要 一种化合物半导体装置及其制造方法。该半导体装置包括:砷化镓基板,具有第一突出部与第二突出部,其中该第一突出部位于该砷化镓基板的第一部之上,而该第二突出部位于该砷化镓基板的第二部之上;第一元件,设置于该第突出部之上;以及第二元件,设置于该第二突出部之上。
申请公布号 CN102270635A 申请公布日期 2011.12.07
申请号 CN201010198383.X 申请日期 2010.06.07
申请人 立积电子股份有限公司 发明人 彭国瑞;赵传珍;刘慈祥
分类号 H01L27/00(2006.01)I;H01L23/482(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L27/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 彭久云
主权项 一种化合物半导体装置,包括:砷化镓基板,具有第一突出部与第二突出部,其中该第一突出部位于该砷化镓基板的第一部之上,而该第二突出部位于该砷化镓基板的第二部之上;第一元件,设置于该第一突出部之上;以及第二元件,设置于该第二突出部之上。
地址 中国台湾台北市