纳米压痕/刻划测试装置

摘要

本实用新型涉及一种纳米压痕/刻划测试装置，属于机电一体化精密科学仪器领域。其结构包括X、Y精密定位平台、Z轴宏动调整机构、精密压入驱动单元、载荷信号检测单元和位移信号检测单元，其中，所述的X、Y精密定位平台通过连接板Ⅰ2与粗调整机构Ⅲ15相连，该调整机构Ⅲ15固定在底座1上，载物台8通过力传感器9与X、Y精密定位平台连接；精密压入驱动单元通过Z轴宏动调整机构固定在侧板Ⅰ3上，该侧板Ⅰ3固定在底座1上；位移信号检测单元通过其侧板Ⅱ14固定在底座1上。技术效果是：结构紧凑、体积小。可以实现特征尺寸毫米级以上三维试件的力学性能测试（最大尺寸达到20mm×20mm×10mm）；位移加载分辨率达到纳米级、加载力分辨率达到微牛级。

主权项

一种纳米压痕/刻划测试装置，其特征在于：包括X、Y精密定位平台、Z轴宏动调整机构、精密压入驱动单元、载荷信号检测单元和位移信号检测单元，其中，所述的X、Y精密定位平台通过连接板Ⅰ（2）与粗调整机构Ⅲ（15）相连，该调整机构Ⅲ（15）固定在底座（1）上，载物台（8）通过力传感器（9）与X、Y精密定位平台连接；精密压入驱动单元通过Z轴宏动调整机构固定在侧板Ⅰ（3）上，该侧板Ⅰ（3）固定在底座（1）上；位移信号检测单元通过其侧板Ⅱ（14）固定在底座（1）上。