用于样本之X-射线分析之装置及方法

主权项

一种用于一样本之X射线分析的装置，其包含：一X射线激发源，其经配置而将一沿着一光束轴之X射线光束照射在该样本上之一点；一或多个X射线侦测器，其经配置以便界定该点周围之一环，在该环中自该光束轴放射状地移开之一位置处具有一间隙，且其中该一或多个X射线侦测器经调适可以接收来自该样本上之该点的X射线光子，且产生回应该等光子指示该样本之一特征的第一讯号；一光学辐射源，其以该X射线激发源定位而将光学辐射照射在该样本之该点上；及一光学侦测器，其安置于该环内之该间隙中，以接收自该样本反射的该光学辐射，且产生指示以该样本之一目标区域作该点之一定位的第二讯号。