Apparatus for thin film deposition having deposition blades,申请号KR20100014273-传众专利搜索

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发明名称	Apparatus for thin film deposition having deposition blades
摘要
申请公布号	KR101084194(B1)	申请公布日期	2011.11.17
申请号	KR20100014273	申请日期	2010.02.17
申请人		发明人
分类号	H01L51/40;H01L51/56	主分类号	H01L51/40
代理机构		代理人
主权项
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