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<p>처리액 도포 장치는 대상물에 처리액을 도포하는 적어도 하나의 헤드, 및 헤드를 세정하는 세정유닛을 구비한다. 세정유닛은 헤드의 처리액 토출면과 평행하게 배치되는 적어도 하나의 와이어를 구비하고, 와이어는 처리액 토출면에 잔존하는 처리액을 긁어내어 제거한다. 이와 같이 세정유닛은 와이어를 이용하여 헤드를 세정하므로, 별도의 가공 없이 헤드에 잔존하는 처리액과 접촉되는 상면의 면적을 최소화할 수 있다. 이에 따라, 세정유닛은 제조 원가를 감소시키고, 세정 효율을 향상시킬 수 있다.</p> |
