| 发明名称 |
プラズマ処理チャンバの可動基板支持アセンブリ用の消耗絶縁リング |
| 摘要 |
【課題】プラズマ処理チャンバの可動基板支持アセンブリ用の消耗絶縁リングを提供する。【解決手段】可動基板支持アセンブリの消耗絶縁リングに関る。消耗絶縁リングは、固定接地リングの周囲にぴたりと嵌る可動接地リングの段上に支持されるように構成される。消耗絶縁リングは、可動基板支持アセンブリの誘電体リングから可動接地リングを電気的に絶縁するように構成される。【選択図】図１ |
| 申请公布号 |
JP3171623(U) |
申请公布日期 |
2011.11.10 |
| 申请号 |
JP20110005035U |
申请日期 |
2011.08.29 |
| 申请人 |
ラム リサーチ コーポレーションＬＡＭ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ |
发明人 |
マイケル・シー．・ケロッグ;アレクセイ・マラクタノフ;ラジンダー・ディンドサ |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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