SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSPORT METHOD
摘要
<p>기판처리장치는, 반송로를 따라 배열된 복수의 기판처리부와, 상기 반송로를 따라 이동가능하게 설치되며, 기판을 대기시켜 두기 위한 대기기구와, 상기 반송로를 따라 이동가능하게 설치되며, 상기 대기기구와 각 기판처리부 사이에서 기판을 반송하기 위한 반송기구와, 상기 반송기구를 상기 반송로를 따라 이동시키는 제1 이동기구와, 상기 대기기구를 상기 반송로를 따라 이동시키는 제2 이동기구를 포함한다.</p>
