使用电磁波的检查装置和检查方法

摘要

本发明公开了一种使用电磁波的检查装置和检查方法。本发明用于提供一种能够使用电磁波以高速度获取作为平均信息的、检查对象的电磁波响应信息的检查装置和方法。使用电磁波的检查装置2包括：电磁波产生和照射单元9，其产生电磁波并将电磁波照射到检查对象11上；和电磁波检测单元10，其具有多个检测单元。所述多个检测单元被布置成检测由电磁波产生和照射单元所照射并通过与检查对象11的不同位置相互作用而透射或反射的电磁波，将所述多个检测单元构造为分别以不同的检测时间或检测频率来检测来自不同位置的电磁波。检查装置基于来自多个检测单元的检测信号来获取关于检查对象11的电磁波响应信息。

主权项

一种用于使用太赫波来执行检查的检查装置，包括：电磁波产生和照射单元，其产生太赫波并将所述太赫波照射到检查对象上；电磁波检测单元，其具有多个检测单元，其中，所述多个检测单元被布置以便检测由电磁波产生和照射单元所照射并通过与检查对象的不同位置相互作用而透射或反射的太赫波，将所述多个检测单元构造为以不同的检测时间来检测来自不同位置的太赫波，从而通过对来自多个检测单元的测量的值进行合成来从检查对象获取太赫波的时间波形。