发明名称 一种微波水热制备CdS薄膜的方法
摘要 一种微波水热制备CdS薄膜的方法,将CdCl2·H2O加入到去离子水中得溶液A;向A溶液中加入Na2S2O3·5H2O或SC(NH2)2得溶液B;向B溶液中加入乙二胺四乙酸或聚乙烯基吡咯烷酮,得溶液C;将C溶液倒入水热反应釜中,然后基片放置在水热釜中,浸于镀膜液体中;密封水热反应釜,将其放入MDS-6型温压双控微波水热反应仪中,反应结束后自然冷却到室温;打开水热反应釜,取出基片,分别用蒸馏水和无水乙醇清洗后,真空干燥即在基板表面获得CdS光电薄膜。本发明的反应在液相中一次完成,制得的CdS薄膜纯度高,均一性好,薄膜与基板结合牢固,不需要后期的晶化热处理。
申请公布号 CN101698963B 申请公布日期 2011.11.09
申请号 CN200910218822.6 申请日期 2009.10.30
申请人 陕西科技大学 发明人 黄剑锋;胡宝云;曹丽云;李嘉胤;吴建鹏
分类号 C30B29/50(2006.01)I;C30B7/10(2006.01)I;C23C26/00(2006.01)I;H01L31/0296(2006.01)I 主分类号 C30B29/50(2006.01)I
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人 徐文权
主权项 一种微波水热制备CdS薄膜的方法,其特征在于:1)将分析纯的CdCl2·H2O溶解于蒸馏水中,配制成Cd2+浓度为0.01mol/L‑2.0mol/L的透明溶液,所得溶液记为A;2)向A溶液中加入分析纯的Na2S2O3·5H2O或SC(NH2)2,使得溶液中Cd2+/S2O32‑或Cd2+/∶SC(NH2)2的摩尔浓度比为1∶0.5‑5,所得溶液记为B;3)向B溶液中加入分析纯的乙二胺四乙酸或聚乙烯基吡咯烷酮,使乙二胺四乙酸或聚乙烯基吡咯烷酮的浓度为0.0025mol/L‑0.025mol/L,然后调节溶液的pH值为2.0~6.9,搅拌形成均匀溶胶,记为C,作为镀膜液备用;4)清洗基片:将基片分别在水中和无水乙醇中各超声波震荡10分钟,将质量浓度为70%的硝酸和质量浓度为30%的双氧水按1∶1的体积比混合后将基片浸泡在混合液中活化处理10分钟;5)将C溶液倒入水热反应釜中,填充度控制在50‑80%;然后将已经活化处理后的基片放置在水热釜中,浸于镀膜液体中;密封水热反应釜,将其放入MDS‑6型温压双控微波水热反应仪中;选择温控模式或者压控模式进行反应,所述温控模式的水热温度控制在80‑180℃,压控模式的水热压力控制在0.5MPa‑4.0MPa,反应时间控制在10分钟‑60分钟,反应结束后自然冷却到室温;6)打开水热反应釜,取出基片,分别用蒸馏水和无水乙醇清洗后,放入120℃的真空干燥箱内干燥后即在基板表面获得CdS光电薄膜。
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