| 发明名称 |
含聚醚胺之抛光组合物 |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
TWI351430 |
申请公布日期 |
2011.11.01 |
| 申请号 |
TW096111455 |
申请日期 |
2007.03.30 |
| 申请人 |
卡博特微電子公司 美國 |
发明人 |
杰佛瑞 戴萨;保罗 芬尼;希利蓝 安卓;提摩西 强斯;辛云表;王力 |
| 分类号 |
C09K3/14;H01L21/304;B24B37/00 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
一种用于抛光基板之化学－机械抛光系统，其包含：(a)选自由一抛光垫、磨料及其组合组成之群之抛光成分，(b)液体载剂，及(c)选自由以下化合物组成之群之化合物：(1)式(I)之化合物：其中x＝2－6，(2)式(II)之化合物：其中x＋y＝2－4且y＝1－50，及(3)其组合。 |
| 地址 |
美国 |
