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发明名称 APPARATUS FOR CONVEYING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20110117479(A) 申请公布日期 2011.10.27
申请号 KR20100036968 申请日期 2010.04.21
申请人 KIM, HYEON HUI 发明人 KIM, HYEON HUI
分类号 H01L21/677;B65G49/06;B65G51/03;G02F1/13 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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