PROCEDIMIENTO DE OBTENCION DE NANOHILOS DE SILICIO.
摘要
Procedimiento de obtención de nanohilos de silicio.Procedimiento experimental simple que permite el empleo de membranas "plantilla" porosas para el crecimiento de nanohilos de silicio con una dimensionalidad (diámetro y longitud) controlada. Este procedimiento se basa en el tratamiento térmico controlado de las membranas plantillas recubiertas por metales y soportadas sobre un sustrato cristalino de silicio que permite la obtención de nanohilos de silicio.
申请公布号
ES2366840(A1)
申请公布日期
2011.10.26
申请号
ES20100030501
申请日期
2010.04.06
申请人
UNIVERSIDAD AUTONOMA DE MADRID
发明人
MARQUEZ LINARES, FRANCISCO MANUEL;MORANT ZACARES, CARMEN;ELIZALDE PEREZ-GRUESO, EDUARDO;ZAMORA, FELIX;LOPEZ, VICENTE