| 摘要 |
<p>본 발명은 기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기판 제조용 캐리어 부재는 일면 또는 양면에 제1 금속층이 적층된 절연층, 상기 제1 금속층의 일면에 형성된 제2 금속층 및 상기 제2 금속층의 일면에 형성된 제3 금속층을 포함하고, 상기 제2 금속층의 용융점은 상기 제1 금속층의 용융점 및 상기 제3 금속층의 용윰점보다 낮은 것을 특징으로 하며, 가열하여 캐리어 부재로부터 빌드업층을 분리할 수 있으므로 라우팅 공정이 필요 없고, 그에 따라 캐리어 부재 분리시 기판의 사이즈가 변경되지 않아 캐리어 부재를 재사용할 수 있고, 기판과 제조설비 사이에 호환성을 유지할 수 있는 장점이 있다.</p> |
