| 摘要 |
<p>이를 위하여 본 발명에서는 진공용기 내부의 처리실 내에 배치된 시료대 상에 탑재된 시료를 이 처리실 내에 형성한 플라즈마를 사용하여 처리하는 플라즈마처리장치에 있어서, 상기 처리실과 연통하여 수평방향으로 접속되어 이 처리실 내의 가스가 지나는 배기용 공간과, 이 공간에 연통하여 상기 배기되는 가스가 배출되는 배기구와, 이 배기구와 연통하여 배치되어 상기 가스를 배기하기 위한 펌프와, 상기 배기용 공간의 내부에서 상기 처리실과의 접속부와 상기 배기구와의 사이에 배치되어 이들 사이를 연결하는 방향을 따라 연장되는 판부재로서, 상기 시료대의 상면으로부터의 시각 밖에 배치된 판부재를 구비하였다.</p> |
